序號

   故障原因

   產生（shēng）原因

  原因以及排（pái）除方法

 1

蝕刻深度不夠

蝕刻溫度太（tài）低

加溫蝕刻液

蝕刻（kè）時間太短

適當延長蝕刻時間

蝕刻溶液老化，濃度（dù）低

增加新的蝕刻液

 2

防蝕層脫落

蝕刻液溫度（dù）太高

降（jiàng）低蝕刻（kè）液溫度

防（fáng）蝕層（céng）製作不良

加強蝕刻製作管理

油墨（mò）存放時間過長，失效

更換新（xīn）油墨

二次曝光時間太短（duǎn）

延長二次曝光時間（jiān）

顯影後烘烤溫度太低或時（shí）間太短（duǎn）

提（tí）高烘烤溫度或（huò）延長時間

預處理不良

加（jiā）強質量（liàng）管理

 3

防（fáng）蝕層邊緣變脆（cuì）起層

二（èr）次（cì）曝光時間太（tài）長

適當（dāng）縮短（duǎn）二次曝光時間

 4

蝕刻表麵有印跡

酸洗溶液氟化物含量（liàng）不夠

添加氟化物

酸洗時間太短

延長酸洗時間

蝕刻溶液失調

分析蝕刻溶（róng）液

材料質量原因

更（gèng）換材料

 5

    平滑度差

雜質（zhì）含（hán）量（liàng）太高

更換溶液

三氯化鐵質量差

選擇質量好的（de）三氯化鐵

活化不良

加強（qiáng）活化過程

添加劑含量不足

定期補加添加劑

氯離子濃度（dù）太高

添加硝酸或硝酸氨

磷（lín）酸離子濃度低

添加磷酸

材（cái）料晶粒粗大

更換材料